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第5章 你爸爸大学没毕业,就搞出了光刻机? (第1/2页)

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王仁平不愧是曾经光学院的尖子生,也曾经参与过一些光刻机方面的研发。

和陈佳佳这个非专业人士完全不一样。

在看到这台光刻机的刹那,他并没有被内心的激动冲昏头,靠近这台精密的仪器。

反而是一步来到铁桌的身前,查看起之前陈佳佳所说的光刻机图纸。

如果说这份图纸真的是这台精密仪器的制作图纸的话,那以他的水准,光从这份图纸上就能看出这台机器究竟是真是假!

“本次实验型材料型光刻机激光源头技术采用Rayleigh公式和数值孔径公式结合模式进行研发制造。”

“经过实验,已将代表最小线宽的R数值无限压缩,又将代表光源波长的λ数值进行微调,最终将代表光刻机的数值孔径的NA调整为2.0数值……”

“这!难道这真的是2nm级别的光刻机?”

“这不可能!这怎么可能?”

图纸上的公式涉及了许多个领域,作为曾经光学博士的王仁平第一眼就将目光放到了自己擅长的光学领域模块。

可当他读出图纸上的标注以及试验成果的时候,这位经历了几十年大风大浪的光学高材生差点没惊得跳起来!

虽说已经数十年没有参与到光刻机的研究项目中,但他对相关的报道和研究报告可没有少看。

以前国际通用的5nm接触式光刻机,这个数值大约是在0.5-0.8之间。

而目前国际最先进的采用了投影式技术的3nm光刻机,数值也不过是变成了0.6-1.2!

看起来最大值不过0.4的差距。

实际上投影式光刻机无论从辨率、精度、大规模生产以及成本控制等方面已经远远甩开了接触式光刻机。

最保守估计,双方的差距都有10倍有余!

那2.0将会是什么概念!?

这简直无法想象!

已近顺耳的年龄并没有影响到王仁平的身体,在得知了图纸上惊人的信息后。

他腿脚飞快的冲出仓房,朝着自己的车子跑去,只留下一脸茫然的白萌萌和陈佳佳。

“老师,校长爷爷怎么跑了?”

白萌萌疑惑的问道。

这校长爷爷不是为了观看爸爸制作的光刻机的吗?

怎么机器都没怎么看,只看了看桌上那张被爸爸随意丢在这里的图纸就直接吓得逃跑了?

还没等陈佳佳开口回答,王仁平已经风风火火的跑回来了。

外面正是大太阳,跑出去一圈的他满头大汗,手里还拎回了一个巨大的工具包,径直走向光刻机的方向。

“校长爷爷,爸爸说不能碰这台光刻机。”

“要是碰坏了,爸爸会不高兴的!”

以为王仁平要瞎鼓捣光刻机,白萌萌连忙开口制止。

“放心萌萌,校长爷爷就是看看,不会碰坏的。”

王仁平笑着拿出一副造型特殊的放大镜,对着白萌萌展示。

废话!

这要真是2nm的光刻机,要是弄坏了,别说是他,哪怕是魔都首富也得赔个倾家荡产!

这点分寸王仁平还是知道的。

见校长爷爷明白了自己的意思,白萌萌点点头,也不再阻止。

而白萌萌身旁的陈佳佳,大脑已经进入僵直状态!

在她的印象里,王仁平就像小说中的英伦老绅士,永远保持着睿智的模样。

和眼前这个为了方便从各个角度观察光刻机,蹲伏,甚至趴在地上的校长简直判若两人!

“2nm级别光刻机……”

看着眼前这个和平日表现迥异的校长,方才对方所说的话不断盘旋在陈佳佳的耳边。

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